国金证券表示，半导体设备零部件在产业链中举足轻重，数量庞大、种类繁多，市场碎片化特征明显。在自主可控加速背景下，随着下游国产设备厂商崛起，机械类零部件率先突破，国产化快速推进，国内半导体零部件优质厂商有望复制国产半导体设备公司在过去两年的加速渗透路径，迎来份额和业绩的加速。