导读 是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度。,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离...
是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度。
,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离子),以达成电性要求。
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